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| 芯片廠對空氣過濾器的要求 |
| 瀏覽次數：2108 次 發布時間：2024-01-29 |
當今，半導體芯片廠對生產環境空氣潔凈程度最挑剔，對空氣過濾器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。
芯片廠用的高效過濾器和風機過濾單元（FFU）出廠前要經過掃描測試。芯片廠不認鈉焰法和DOP法的帳。
芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發元素近幾年出現了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料，這種材料沒有揮發物，但它帶靜電，過濾后的空氣要進行電中和以消除離子，少了個隱患，多了個麻煩。
但當芯片的線寬小到0.5um時，人們發現空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯廠空調系統中普遍配置了化學過濾器。
芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器，它的原理和制造工藝并不復雜。
許多情況下，設計師和現場人員也說不清污染物的種類和濃度，因此，芯片廠用的化學過濾器應具有兩個特點：廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。
如果能確定污染物種類，就可對吸附材料進行有針對性的化學處理，以增強對特定污染物的吸附能力。
過濾器供應商有時還要提供相應的現場檢測服務，以幫助用戶確定化學過濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞化學過濾的專家，并與權威實驗室有密切的關系。
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