1. 目的

　　制訂電源車間高效過濾器的檢漏標準操作規(guī)程

　　2. 適用范圍

　　本標準適用于潔凈廠房高效過濾器泄漏的檢查

　　3. 職責

　　質(zhì)量控制部：負責電源無塵車間內(nèi)部潔凈廠房高效過濾器檢漏

　　4.內(nèi)容

　　4.1. 測試方法：塵埃粒子計數(shù)掃描巡檢法

　　4.2. 測試范圍：層流或亂流潔凈區(qū)/室。包括：層流工作臺，生產(chǎn)車間各功能間的高效過濾器，必須在現(xiàn)場對以下部位進行掃描巡查：

　　4.2.1. 高效過濾器的濾材

　　4.2.2. 高效過濾器的濾材與其框架內(nèi)部的連接

　　4.2.3. 高效過濾器框架的密封墊和過濾器組支撐架之間的連接

　　4.2.4. 高效過濾器支撐框架和墻壁或頂棚之間的連接

　　4.3. 檢測儀器

　　塵埃粒子計數(shù)器

　　4.4. 原理

　　根據(jù)浮游粒子在一定強度的光照射下所散射出與其粒徑成一定比例關(guān)系的光通量原理，粒子散射光經(jīng)光電轉(zhuǎn)換變成電信號，經(jīng)放大和計算機處理后被顯示器顯示粒子當量直徑和相應(yīng)粒子數(shù)量

　　4.5. 檢測程序

　　4.5.1.使用大氣塵進行檢漏，當用大氣塵檢漏時，過濾器上游濃度(0.5μm)應(yīng)不小于4000粒/L。如上游濃度達不到規(guī)定要求時應(yīng)采用適當措施，增加上游濃度。

　　4.5.2. 用塵埃粒子計數(shù)器采樣頭掃描過濾器的出風側(cè)。采樣頭離過濾器距離約2cm-3cm處，掃描速度宜為1.5cm/s(28.3L/min)

　　4.5.3. 采樣管的長度不應(yīng)超過0.5m。

　　4.5.4. 掃描檢漏時應(yīng)拆去高效過濾器外的孔板或裝飾層。

　　4.5.5. 掃描檢漏時，若塵埃粒子計數(shù)器顯示出非零的特征讀數(shù)，則表示可能有漏泄，應(yīng)把采樣口停在漏泄處1min，確定讀數(shù)是否大于等于3粒，如大于等于3粒則判漏，如未達到3粒則判為不漏。

　　4.5.6. 高效過濾器更換或處理后，應(yīng)再次進行掃描巡檢。

　　4.6. 檢測頻度

　　4.6.1. 在安裝或更換高效過濾器時應(yīng)進行檢測。

　　4.6.2. 正常使用情況下，每年至少檢測一次。