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案例名稱:半導體行業千級無塵室
詳細信息:

半導體行業千級無塵室也叫千級無塵室

目前本公司已和TCL多媒體科技控股有限公司合作

千級無塵室

 

無塵室凈化原理 

氣流初效空氣處理空調中效空氣處理風機送風凈化管道高效送風口潔凈室帶走塵埃(細菌)  回風夾道新風、初效空氣處理。

重復以上過程,即可達到凈化目的。

無塵室技術參數

換氣次數:十萬級1015/小時;萬級1525/小時;千級5052/小時;百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s。 壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa。 溫度:冬季>16±2;夏季 <26±2;
相對濕度:4565%(RH);噪聲≤65dBA);新風補充量:總送風量的20%-30%; 照度:≥300Lux。

無塵室結構材料

1.無塵室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。無塵室門采用凈化密閉門,窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.無塵室地面采用環氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。
3.無塵室凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作,并采用“PEF"阻燃型的保溫板做保溫。

無塵室無塵室空氣中懸浮粒子潔凈度等級:

等數ISO空氣潔凈

大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(P/m -空氣)

潔凈等級美國聯邦209E

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

ISO Class1

10

2

 

 

 

 

 

ISO Class2

100

24

10

4

 

 

 

ISO Class3

1000

237

102

35

8

 

1

ISO Class4

10000

2370

1020

352

83

 

10

ISO Class5

100000

23700

10200

3520

832

29

100

ISO Class6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

1000

ISO Class7

 

 

 

352000

83200

2930

10000

ISO Class8

 

 

 

3520000

832000

29300

100000

ISO Class9

 

 

 

35200000

8320000

293000

300000

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